1.人眼分辨率人眼分辨率通常指在正常照明條件下,肉眼可以分辨出兩個(gè)最近物點(diǎn)的距離。一般認(rèn)為在250mm的明視距離上,人眼分辨率為0.2mm,如圖1-1所示。圖1-1　人眼分辨率為了提高分辨率,通常借助光學(xué)放大系統(tǒng),例如使用10倍放大鏡...[繼續(xù)閱讀]

    1.電子波鑒于電子的波動(dòng)性,德布羅意認(rèn)為帶電粒子與光波之間極為相似,具有波動(dòng)性,電子波就是一種德布羅意波。式中:h為普朗克常數(shù);m為電子質(zhì)量;v為電子運(yùn)動(dòng)速度。當(dāng)電子初速為0時(shí),在電場(chǎng)中從0電位開始運(yùn)動(dòng),受到電壓U的加速作用...[繼續(xù)閱讀]

    當(dāng)用放大鏡讀報(bào)紙時(shí)會(huì)發(fā)現(xiàn),鏡片中心附近的文字清洗可辨,而在鏡片邊緣的文字模糊不清,而且黑色的文字周圍均有五彩的色邊。這是失真的圖像,是由于透鏡成像的像差造成的。電磁透鏡也有像差,它不能把一個(gè)理想的物點(diǎn)聚焦為一個(gè)...[繼續(xù)閱讀]

    光鏡(OM)的出現(xiàn),開辟了微觀視野。1939年德國人B.Borris和E.Ruska推出第一臺(tái)商業(yè)透射電鏡(TEM),分辨率提高到亞微米范圍。透射電鏡與光鏡有許多類同之處,例如:光源、分辨率、放大倍率、透鏡、像差、衍射等光學(xué)術(shù)語均通用。兩者之間的...[繼續(xù)閱讀]

    圖2-1　電子散射示意圖(a)彈性散射,碰撞后的瞬間能量Ei＝Eo;(b)非彈性散射,瞬間能量Ei≪Eo,φi≪φe。在掃描電鏡鏡筒中,電子束通過電磁透鏡聚焦和電場(chǎng)加速,入射到樣品中,束電子與樣品原子核或核外電子發(fā)生多種相互作用,而被...[繼續(xù)閱讀]

    彈性散射過程和非彈性散射過程是同時(shí)發(fā)生的,前者使束電子偏離原來運(yùn)動(dòng)方向,并使電子在樣品內(nèi)部擴(kuò)散,后者使電子能量逐漸減少直至被樣品完全吸收,因此限制了電子束的擴(kuò)散范圍,電子束的能量完全沉積在擴(kuò)散區(qū)內(nèi),同時(shí)產(chǎn)生大量...[繼續(xù)閱讀]

    1.背散射電子(Backscatteredelectron,簡稱BSE)以實(shí)驗(yàn)為例:用已知量的束流入射到正偏置的樣品中,僅約70%的電子能量消耗在作用區(qū)內(nèi),其余30%的電子從樣品中背散射出來,這是背散射電子。起因是由于部分入射電子受到樣品原子核在任意方向...[繼續(xù)閱讀]

    1.掃描電子槍產(chǎn)生的高能電子束入射到樣品的某個(gè)部位時(shí),在相互作用區(qū)內(nèi)發(fā)生彈性散射和非彈性散射事件,從而產(chǎn)生背散射電子、二次電子、吸收電子、特征和連續(xù)譜X射線、俄歇電子、陰極熒光等各種有用的信號(hào),利用合適的探測(cè)器...[繼續(xù)閱讀]

    掃描電鏡是由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒)、掃描系統(tǒng)、信號(hào)檢測(cè)和放大系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、電源和真空系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等部分組成,如圖3-8所示。各部分的主要功能將分別予以介紹。圖3-8　掃描電鏡結(jié)構(gòu)圖C—電子槍;CL—聚光...[繼續(xù)閱讀]

    目前市場(chǎng)上提供的商品掃描電鏡分為兩類:場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FEGSEM)和常規(guī)掃描電鏡(ConventionalSEM,簡稱CSEM),兩類電鏡的主要性能指標(biāo)對(duì)照如表3-5所示。表3-5　場(chǎng)發(fā)射與常規(guī)掃描電鏡主要性能指標(biāo)對(duì)照表1.場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡屬...[繼續(xù)閱讀]