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用于極紫外光刻的高功率能量回收型自由電子激光光源

中國激光 頁數(shù): 9 2024-03-18
摘要: 未來極紫外光刻技術的發(fā)展亟需更高功率的光刻光源,能量回收型自由電子激光光源可以實現(xiàn)千瓦量級以上的功率輸出,是一種極具潛力的高功率極紫外光刻光源。主要介紹了高功率能量回收型自由電子激光光源的工作原理、發(fā)展現(xiàn)狀以及所面臨的關鍵技術挑戰(zhàn)。 (共9頁)

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