壓電變形鏡驅(qū)動(dòng)器遲滯快速辨識(shí)與補(bǔ)償研究

摘要： 采用壓電陶瓷作為促動(dòng)機(jī)構(gòu)的主動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)。為了對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器固有的遲滯非線性進(jìn)行有效抑制校正，以提高系統(tǒng)性能，該文對(duì)帶變形鏡鏡面負(fù)載結(jié)構(gòu)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器非線性遲滯動(dòng)態(tài)進(jìn)行了高效辨識(shí)建模，實(shí)現(xiàn)了帶鏡面負(fù)載的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器相對(duì)誤差1.886 7%的遲滯參數(shù)辨識(shí)與建模，降低了辨識(shí)算法所需時(shí)間90%以上，同時(shí)克服了負(fù)載結(jié)構(gòu)導(dǎo)致辨識(shí)信號(hào)信噪比低的問題。實(shí)驗(yàn)證明，所用方法得到的壓電陶瓷遲滯... （共6頁(yè)）