高后坐過載下硅基MEMS后坐保險裝置響應(yīng)特性

摘要： 針對硅基相較于金屬基材料延展性不足，在上萬g發(fā)射環(huán)境下硅基MEMS后坐保險裝置易發(fā)生失效的問題，對一種垂直基板式硅基MEMS后坐保險裝置進(jìn)行高后坐過載下響應(yīng)特性研究。研究結(jié)果表明：高后坐過載下后坐保險裝置的最大應(yīng)力集中點位于靠近質(zhì)量塊的彈簧拐彎處，0.08 mm厚的彈簧在勤務(wù)跌落情況下最大應(yīng)力值為1 188 MPa;閉鎖機(jī)構(gòu)的直角卡鉤易發(fā)生閉鎖后反彈脫鉤；當(dāng)彈簧厚度不超出0.2... （共6頁）

微機(jī)電系統(tǒng)硅基安全系統(tǒng)后坐保險裝置