基于圖像預處理的光學元件表面粗糙度測量系統(tǒng)

摘要： 在測量光學元件表面粗糙度時，測量結果往往比較片面，為此設計基于圖像預處理技術的光學元件表面粗糙度測量系統(tǒng)。獲取原始元件表面粗糙度干涉圖像，通過對表面形貌圖像實施圖像去噪處理與傾斜校正處理獲取濾波結果，通過自適應中值濾波算法實施圖像的去噪處理。在粗糙度參數評定模塊中，根據取樣長度對評定長度下定義，實施光學元件表面粗糙度的全面評定。利用設計系統(tǒng)測量三種光學元件的表面粗糙度。實驗結果... （共5頁）