高潔凈度超光滑非球面的自動化干涉檢測方法

摘要： 為了實現(xiàn)應用于高能激光等領域對表面潔凈度有著極高要求的超光滑非球面檢測，排除檢測人員帶來的潔凈度與空氣擾動的影響，研究了高潔凈度超光滑非球面的自動化干涉檢測方法。通過建立補償干涉法非球面失調量與波前像差之間的靈敏度矩陣，實現(xiàn)利用波前像差求解被測非球面失調量。以理想干涉系統(tǒng)的離焦、彗差與像散為優(yōu)化目標，進行反饋控制，實現(xiàn)被測非球面的自動化調整，進而實現(xiàn)高潔凈度超光滑非球面的自動化... （共10頁）