基于二維混合式位置編碼的高精度測(cè)角
光學(xué)精密工程
頁(yè)數(shù)： 8 2024-03-10
摘要： 針對(duì)具有精密旋轉(zhuǎn)軸系類的高端制造裝備或精密測(cè)量?jī)x器，其旋轉(zhuǎn)角度采用傳統(tǒng)圓光柵難以消除偏心誤差對(duì)測(cè)量角度精度的影響，提出了一種基于二維混合式位置編碼的旋轉(zhuǎn)角度高精度測(cè)量方法。該測(cè)角系統(tǒng)由一個(gè)二維混合式位置編碼盤(pán)、兩個(gè)CCD相機(jī)和遠(yuǎn)心鏡頭組成，二維混合式位置編碼盤(pán)被固定在精密旋轉(zhuǎn)軸系上以獲得其旋轉(zhuǎn)角度。然后，建立了測(cè)角模型并從數(shù)學(xué)上證明了測(cè)角精度與安裝偏心無(wú)關(guān)。利用多齒分度臺(tái)對(duì)已提... （共8頁(yè)）
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