上一問與大家聊過非晶硅TFT的制造工藝,這一問介紹一下LTPSTFT的制作工藝。a-SiTFT一般為底柵5Mask結構,而LTPSTFT由于底柵結構導致硅層中結晶性不佳,無法提高載流子遷移率,目前頂柵式LTPSTFT已是主流結構。LTPSTFT與a-SiTFT主要有兩點制程 (共 681 字) [閱讀本文] >>
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 上一問與大家聊過非晶硅TFT的制造工藝,這一問介紹一下LTPSTFT的制作工藝。a-SiTFT一般為底柵5Mask結構,而LTPSTFT由于底柵結構導致硅層中結晶性不佳,無法提高載流子遷移率,目前頂柵式LTPSTFT已是主流結構。LTPSTFT與a-SiTFT主要有兩點制程 (共 681 字) [閱讀本文] >>