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 常壓化學氣相沉積APCVD的化學產率,即Si的轉換效率,定義為初始氣相Si轉換為固相Si的效率。比較初始氣相Si/Cl摩爾比例和熱平衡狀態(tài)沉積溫度下最終的Si/Cl比例,可以給出Si沉積反應理論上耗用的SiHCl3。用SiHCl3作為前驅氣體的初始Si/Cl比 (共 614 字) [閱讀本文] >>
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