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 如果大規(guī)模生產(chǎn)的液相外延LPE采用連續(xù)的在線式工藝,比不上分批式工藝,因?yàn)槿芙獾腟i會(huì)不斷地減少,需要在每一次外延生長(zhǎng)后更換溶液。在分批式液相外延(batchtypeliquidphaseepitaxy)中,將16片襯底同時(shí)浸潤(rùn)在“無(wú)限源”(infinitesource)中,使 (共 433 字) [閱讀本文] >>
海量資源,盡在掌握
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