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 作為最近發(fā)展的大規(guī)模生產工藝,對流輔助化學氣相沉積(ConvectionassistedChemicalVaporDeposition,CoCVD)可以有效地使用熱對流,以控制反應腔中的氣體流動,并且通過對流回收未充分使用的氣體前驅物[90],如圖1.23所示。反應腔與水平方向的夾角 (共 417 字) [閱讀本文] >>
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 作為最近發(fā)展的大規(guī)模生產工藝,對流輔助化學氣相沉積(ConvectionassistedChemicalVaporDeposition,CoCVD)可以有效地使用熱對流,以控制反應腔中的氣體流動,并且通過對流回收未充分使用的氣體前驅物[90],如圖1.23所示。反應腔與水平方向的夾角 (共 417 字) [閱讀本文] >>